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永信贵宾会官网半导体首台清洗设备入驻芯物科技！

2021-6-15 14:23:23

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     2021年6月7日，上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺设备搬入仪式在新傲工厂举行，永信贵宾会官网首台清洗设备入驻芯物科技！
   
    据国家智能传感器创新中心卖力人在致辞时介绍，12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台凌驾80%的设备均接纳国产设备，为国产装备提供验证平台，加速传感器工业链国产化，实现自主可控。
   
    王晖先生在致辞时说：“能够获得和芯物科技一起生长的机会，我代表永信贵宾会官网向芯物科技体现衷心的谢谢！在这个充满机会与挑战的时代，期待未来和芯物科技一起，开发一些全球领先的差异化特色工艺和设备，把中国的MEMS做到世界前列！”
   
    永信贵宾会官网本次进驻芯物科技的设备为前道刷洗设备，该设备接纳单片腔体对晶圆正反面依工序清洗，可进行包罗晶圆反面刷洗、晶圆边缘刷洗、正反面二流体清洗等清洗工序。设备占地面积小，产能高，稳定性强，多种清洗方式灵活可选，且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。

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